Через месяц у меня появилось стойкое ощущение того, что многие работники (и особенно работницы) занимались саботажем, умышленно снимали маски, скрывали состояние собственного здоровья. Последнее оказалось далеко не маленькой проблемой. Круглосуточная трехсменная работа позволила быстро накапливать статистику. Выяснилось, что банальный насморк очень плачевно сказывается на выходе исправных микросхем. Более того, даже женские циклы прямо и недвусмысленно влияли на качество пластин, хотя эту тему мы все же предпочли не поднимать [216] .
Излишне говорить, что эти методы не прибавили мне популярности на производстве. Сотрудники увольнялись десятками и сотнями. Это при удвоенных зарплатах и приоритетном продуктовом снабжении. Голоса за спиной стали настолько громкими, что начал подумывать об охране, особенно после тотального запрета усов и бород. Спас положение Маслов, директор НИИ. Он вовремя догадался провести для сотрудников специальный цикл лекций с привлечением технологов и медиков. Это немного сняло напряжение, вернее, отодвинуло грань, за которой начинается мордобой.
Недостаток рабочих рук продолжал оставаться узким местом проекта. В конце января задействованным в чистой зоне сократили продолжительность рабочего дня до шести часов с переходом на четырехсменный режим работы и еще больше увеличили зарплату.
Несмотря на поистине драконовские меры, выход годных процессоров хоть и увеличился раз в пять, но все равно шел на проценты. Когда с одной двадцатипятимиллиметровой пластинки в дело идет три-четыре годные интегральные схемы, а остальные две сотни ссыпают в мусор, становится обидно. Но ученые и так были на пределе, каждый цилиндр кремния воспринимали как новый бой и не обращали внимания на бессонные ночи и испорченное химией здоровье [217] .
Кстати, целиком справиться с микросхемой часов в «Пульсаре» все же не смогли. Под дамокловым мечом съезда партии они самочинно, никого не спрашивая, разделили исходный чип на два логических, выделив усилитель кварцевого генератора и делитель частоты «на 512» в отдельную интегральную схему. С парой чипов итоговый выход годных комплектов оказался значительно больше [218] . Вероятно, это было правильное решение, которым они спасли как свою, так и мою задницы.
Пульсаровцы вообще молодцы, ведь почти все приходилось делать вручную. Топология схем разводилась на обычной миллиметровке. Потом проверялась парой независимых эсэнэсов на предмет ошибок. Потом еще раз… и еще… и еще. Затем дорожки в сильно увеличенном масштабе вырезались на огромных кусках рубелита. Это специальный стабильный лавсан, покрытый красной пленкой, которую надо было удалить в «ненужных» местах — прямо как на скульпторах Микеланджело [219] . И опять проверялось, не содрался ли где лишний кусочек пластика.
Для этого пришлось изобрести специальный «координатограф», который направлял процесс ручного вырезания. Измерение координат, перенос, настройка — все вручную. Плоттеров тут не было, хотя после моих рисунков Маслов серьезно задумался. Конечно, без образца из «тойоты» ничего не вышло бы. Но вот был ли значимым именно технологический вклад артефакта? Имелись у меня в этом большие сомнения.
Топологию с чипа получили в готовом виде, для этого ничего не требовалось, кроме хорошего микроскопа. Нам дико повезло, что чип был однослойным, это совсем не характерно даже для изделий девяностых годов. Кроме значительного выигрыша во времени, сие позволило обойти часть совершенно неочевидных для шестьдесят пятого года технологических капканов. С остальными задачами все обстояло не так радужно.
Для начала, технология в образце использовалась на 6 мкм. И это мне еще жутко повезло, позже я понял, что встретить чип «хуже 1 мкм» в две тысячи десятом году почти невозможно. Оборудование «Пульсара» позволяло использовать чипы только на 10 мкм, но тут, по крайней мере, все казалось вполне «земным», не возникало особых вопросов по поводу происхождения часов.
Главное, мои представления о послойной «шлифовке» для понимания химсостава оказались несколько… примитивными, если не сказать больше. Дело в том, что сам полупроводник, по сути, простой легированный материал. Состав веществ давно известен, необходимо всего-то узнать трехмерную структуру, по которой все это распределялось. Для понимания устройства затвора, к примеру, нужно в микроскопе выбрать точку, где имеется нужная «конструкция», и испарять все слои, пока остается подозрение, что они там вообще есть. В идеале — насквозь. В процессе масс-спектрометром смотреть, из чего состоит слой. Причем все это в глубоком вакууме. И так — во многих точках.
Но образец-то один! А надо хотя бы несколько десятков, лучше сотен. В общем, что-то, конечно, из артефакта выкачали. Даже спорили между собой, что важнее смотреть, потом — почему так получилось. Многие уже не знали, куда складывать заявки на авторские свидетельства из-за подобных мини-открытий.
Но основным драйвером прорыва все же стало обычное человеческое упрямство. В шестидесятых это еще играло роль, ученые считали себя как минимум «не хуже американцев». И грызли «задачки» едва ли не зубами.
Следующей проблемой сделалось совмещение слоев. Возможно, это оказалось самым сложным на данном этапе, если не считать подбора химии всяческих паст и порошков. Засвечивать фоторезист на пластине кремния нужно было далеко не один раз. Тут не увеличенный масштаб шаблона, а натуральный. Так что точность совмещения — единицы микронов. Все делалось без автоматики, руками не слишком квалифицированных сотрудниц. Но ничего, после написания инструкции на два десятка страниц даже это стало получаться [220] .
Сейчас молодые топы «Пульсара» удивлялись своей наглости, полученным результатам и присматривали новые костюмы для выхода на церемонию торжественного награждения. Без этого не обойдется, они добились немалого за удивительно короткий срок.
Ребята сидели в курилке и сплетничали на производственные темы. Меня давно не стеснялись, привыкли, как продавщицы из супермаркета к видеокамере над кассой.
— Нинка-то, прикинь, температуру на загонке фосфора держит, точно как робот.
— Которая новенькая, в очках?